@techreport{weko_200219_1,
   author	 = "小平,行秀 and 東,梨奈 and 松井,知己 and 高橋,篤司 and 児玉,親亮",
   title	 = "劣勾配法によるプロセスばらつきを考盧したマスク最適化手法",
   year 	 = "2019",
   institution	 = "会津大学コンピユータ理工学部, 会津大学コンピユータ理工学部, 東京工業大学工学院, 東京工業大学工学院, キオクシア株式会社",
   number	 = "39",
   month	 = "nov"
}