@techreport{weko_200217_1, author = "片岡,岳 and 稲木,雅人 and 永山,忍 and 若林,真一", title = "配線幅および配線間距離を考盧した特徴量によるリソグラフィホットスポット検出", year = "2019", institution = "広島市立大学大学院情報科学研究科, 広島市立大学大学院情報科学研究科, 広島市立大学大学院情報科学研究科, 広島市立大学大学院情報科学研究科", number = "37", month = "nov" }