@techreport{weko_194464_1,
   author	 = "木村,泰己 and 松縄,哲明 and 三本木,省次",
   title	 = "半導体製造工程のモデリングにおける最小二乗最小ノルム解の前処理による解の制約",
   year 	 = "2019",
   institution	 = "東芝メモリ株式会社, 東芝メモリ株式会社, 東芝メモリ株式会社",
   number	 = "1",
   month	 = "feb"
}