@techreport{weko_185185_1, author = "小坂,翼 and 中村,昌平 and 宇佐美,公良", title = "薄膜 BOX-SOI を用いた基板バイアス印加温度センサの検討", year = "2015", institution = "芝浦工業大学大学院理工学研究科電気電子情報工学専攻, 芝浦工業大学大学院理工学研究科電気電子情報工学専攻, 芝浦工業大学工学部情報工学科", number = "18", month = "jan" }