@techreport{weko_176019_1,
   author	 = "籔内,美智太郎 and 大島,梓 and 駒脇,拓弥 and 岸田,亮 and 古田,潤 and 小林,和淑 and Pieter,Weckx and Ben,Kaczer and 松本,高士 and 小野寺,秀俊",
   title	 = "40nmSiONプロセスにおけるランダムテレグラフノイズ複合欠陥モデルを用いた回路解析手法",
   year 	 = "2016",
   institution	 = "京都工芸繊維大学, 京都工芸繊維大学, 京都工芸繊維大学, 京都工芸繊維大学, 京都工芸繊維大学, 京都工芸繊維大学, KU Leuven／IMEC, IMEC, 東京大学VDEC, 京都大学",
   number	 = "9",
   month	 = "nov"
}