@techreport{weko_146160_1, author = "王,森レイ and 香川,敬祐 and 亀山,修一 and 樋上,喜信 and 高橋,寛", title = "アナログバウンダリスキャンを用いた三次元積層後のTSV抵抗の精密計測法の実装について", year = "2015", institution = "愛媛大学大学院理工学研究科, 愛媛大学大学院理工学研究科, 愛媛大学大学院理工学研究科/富士通株式会社, 愛媛大学大学院理工学研究科, 愛媛大学大学院理工学研究科", number = "34", month = "nov" }