@techreport{weko_146145_1,
   author	 = "星,克也 and 藤吉,邦洋",
   title	 = "可変成形型電子ビーム露光装置のためのレイアウトのL型分割手法",
   year 	 = "2015",
   institution	 = "東京農工大学大学院工学府電気電子工学専攻, 東京農工大学大学院工学府電気電子工学専攻",
   number	 = "19",
   month	 = "nov"
}