@inproceedings{weko_114443_1, author = "栗原,謙三 and 小林,隆 and 明石,吉三", title = "知識ベースに基づく半導体プロセス診断システムにおけるマンマシンインターフェイス", booktitle = "全国大会講演論文集", year = "1986", volume = "第33回", number = "パターン処理および人工知能", pages = "1295--1296", month = "oct" }